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基本規範:
基本配備包含三組流量控制器
濃度/流量精確度:±1.0%
再現性:±1.0%
最大操作壓力:75 psig (建議25psig)
可依需要擴充配備:
可自動混合稀釋準確之標準氣體,濃度範圍由%至ppb,供各種儀器包含氣相層析儀,製程氣體分析儀,質譜儀及FTIR等執行單點或多點校正。
可同時混合2-8組不同來源氣體鋼瓶
25行*80字元液晶顯示可顯示完整資料,基本資訊可同時顯示:
1.所有流量控制器之設定及實際流量,包含總輸出流量
2.鋼瓶內所有組成氣體設定及實際流量與濃度
3.臭氧產生器壓力及流量,燈源電壓等
面板上六個薄膜式快捷鍵,操作容易。
可經由RS-232以電腦操作進行遠端控制
模組化設計,方便後續增加配備,減少重複投資
高容量記儲存功能,可儲存200筆氣體混配稀釋配方。
Series 2000依據各種不同應用需求,可提供各種特殊用途之系統。
型號 | 中文名稱 | 型號 | 中文名稱 |
Series 2000 | 多種氣體混配裝置 | Series 2020 | 動態氣體稀釋裝置 |
Series 2000-U |
超潔淨型校正裝置 (半導體超潔淨需求之應用) |
Sereis 2020CEMS | 煙道氣體分析儀校正裝置 |
Series 2010 | 氣體切割裝置 | Series 9100 | 環境監測儀校正系統 |
Series 2014 VOC | 揮發性有機氣體攜式裝置 | Series 8000 | 鋼瓶氣體加壓配製系統 |
2000 Series可選擇之配有:
可增加到八組質量標量控制器。
逆沖清管路功能。
增加氣體輸入口。
管路加熱功能。
臭氧產生器,可執行氣相滴定(GPT)功能。
滲透爐。
小鋼瓶充填功能(Canister filling)。
氣體加濕功能。