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Computerized Ambient Monitoring Calibration System
Series 9100 是以series 2000為基礎,具有超大型LCD顯示銀幕之多種氣體稀釋校正裝置。可同時顯示所有質量流量控制器流量外,還可自動計算顯示所有稀釋氣體之名稱及濃度。
特色與優點:
與S-6103功能相似外,大型LCD銀幕可提供更完整的資訊
內置的光度計同步測量臭氧發生量,並且採用封閉迴路PID控制以校正錯誤,並可顯示於螢幕上。
當流量及逆壓條件改變時,仍可提供穩定的臭氧濃度。
具有系統內部測漏功能,並產生警訊。
準確度: ± 2%
再現性: ± 2% (30天)
臭氧濃度: 0.05 - 1.0 ppm*(10 slpm)
濃度準確度:設定值±1.0%
流量準確度:設定值±1.0%