環境監測儀校正系統-S9100

Computerized Ambient Monitoring Calibration System

Series 9100 是以series 2000為基礎，具有超大型LCD顯示銀幕之多種氣體稀釋校正裝置。可同時顯示所有質量流量控制器流量外，還可自動計算顯示所有稀釋氣體之名稱及濃度。

特色與優點：

與S-6103功能相似外，大型LCD銀幕可提供更完整的資訊

內置的光度計同步測量臭氧發生量，並且採用封閉迴路PID控制以校正錯誤，並可顯示於螢幕上。

當流量及逆壓條件改變時，仍可提供穩定的臭氧濃度。

具有系統內部測漏功能，並產生警訊。

準確度： ± 2%

再現性： ± 2%  (30天)

臭氧濃度： 0.05 - 1.0 ppm^＊（10 slpm）

濃度準確度：設定值±1.0%

流量準確度：設定值±1.0%